Meridionale Impianti

Automazione e robotica

MI Robotics & Automation unisce ingegneria avanzata e competenza nell’automazione industriale per fornire soluzioni robotiche all’avanguardia. Fondata nel 2017, l’azienda è composta da un team interdisciplinare di ingegneri meccanici e specialisti in automazione industriale, con esperienza in lavorazioni CNC, assemblaggi elettrici e meccanici, e soluzioni su misura per l’industria dei semiconduttori.

Esperienza nel settore dei semiconduttori

  • Front-End: Supportiamo operazioni critiche come litografia, incisione e deposizione a film sottile, migliorando la produttività e garantendo alta qualità del prodotto.
  • Back-End: Automatizziamo assemblaggio, test e packaging, riducendo errori umani e accelerando i tempi di produzione con soluzioni ingegnerizzate di precisione.

Portfolio Sistemi di Robotica e Automazione

Offriamo un’ampia gamma di soluzioni per l’automazione industriale, progettate per migliorare l’efficienza e l'integrazione nei processi produttivi:

Stocker Automatici

Sistemi intelligenti per lo stoccaggio di wafer, reticoli e carrier, dal design modulare e facilmente integrabile.

Sistemi di Trasporto Automatico

Collegamenti rapidi tra linee produttive, dotati di sensori avanzati e protocolli di sicurezza.

Sistemi di Carico/Scarico Automatico

Movimentazione precisa dei materiali, con minimo intervento manuale.

Robot Mobili Autonomi (AMR)

Navigazione dinamica grazie alla tecnologia LiDAR, con piena interazione sicura tra robot e operatori.

Sviluppiamo soluzioni in linea con gli standard SEMI E82 e E84, ideali per cleanroom, logistica automatizzata e ottimizzazione dei flussi produttivi.

Sistemi di Stoccaggio Automatico

Reticle Stocker

Il Reticle Stocker è un sistema avanzato di stoccaggio automatizzato progettato per gestire operazioni su larga scala con precisione ed efficienza senza pari. Con una lunghezza fino a 12 metri e un'altezza di 3 metri, offre una capacità di stoccaggio notevole fino a 3.900 unità. Al centro della sua funzionalità ci sono robot cartesiani con assi interpolati, ingegnerizzati per prelevare e depositare le scatole di reticoli da scaffalature fisse. Questi robot navigano efficientemente attraverso i corridoi formati tra le scaffalature statiche, garantendo un utilizzo ottimale dello spazio e una gestione efficace dei materiali.​

  • Velocità massima: 5 m/s​MIR – Robotica Industriale Mobile
  • Accelerazione massima: 50 m/s²​
  • Precisione di ripetibilità: 0,05 mm
  • Limiti di carico statico: 4.410 N nella direzione Fx, e 79.000 N nelle direzioni Fy e Fz​
  • Limiti di momento statico: 1.300 Nm nella direzione Mx, e 7.110 Nm nelle direzioni My e Mz​

Questo sistema rappresenta più di una soluzione di stoccaggio; è una testimonianza dell’eccellenza nell’automazione e nell’ingegneria. Combinando velocità, precisione e prestazioni robuste, il Reticle Stocker si integra perfettamente nei flussi di lavoro industriali, migliorando la produttività e ottimizzando i processi di stoccaggio.

Wafer Stocker

Il Wafer Stocker è progettato per facilitare il movimento fluido del robot lungo un asse lineare perpendicolare ai punti di prelievo e consegna. Questo design consente un'ampia gamma di movimenti, permettendo al robot di accedere efficientemente a ogni punto di stoccaggio e recupero all'interno dell'isola robotica. Al centro del sistema c'è un robot a 6 assi con sei gradi di libertà (6 DOF), che offre capacità di manipolazione dei wafer precise e flessibili. Questa integrazione robotica avanzata garantisce un'accuratezza e un'adattabilità eccezionali, soddisfacendo le esigenze complesse della gestione dei wafer.​

  • Porta di ingresso e uscita per i lotti di produzione, operabile sia in modalità automatica che manuale​
  • Porta scorrevole automatizzata, controllata dalla logica operativa del sistema e da un meccanismo di sicurezza dedicato​

Questa configurazione a doppio controllo garantisce la massima sicurezza durante le operazioni, offrendo tranquillità in ambienti ad alta criticità.

Tray Stocker (Processo Back-End)

Il Tray Stocker è un sistema di stoccaggio flessibile progettato per contenere fino a 100 contenitori, offrendo funzionalità avanzate per una gestione e manutenzione semplificate. Una porta di accesso per la manutenzione assicura una facile manutenzione, mentre un pannello HMI intuitivo fornisce un controllo centralizzato e user-friendly di tutte le operazioni.

  • Pannello HMI: Interfaccia uomo-macchina intuitiva che consente agli operatori di monitorare e gestire in tempo reale tutte le operazioni del sistema, inclusi lo stato dei contenitori, le operazioni di carico/scarico e gli allarmi di sistema.
  • Sistema di movimentazione interna: Utilizza robot cartesiani ad alta precisione per spostare i tray da e verso le posizioni di stoccaggio. Il sistema può essere configurato per accettare diversi formati di contenitori, rendendolo adattabile a una varietà di esigenze produttive.
  • Tracciabilità e controllo: Ogni contenitore è identificato tramite RFID o codici a barre, permettendo una tracciabilità completa lungo tutta la filiera di produzione.
  • Funzione FIFO/LIFO: Il software di gestione può essere programmato per operare in modalità FIFO (First In First Out) o LIFO (Last In First Out), in base ai requisiti del processo produttivo.
  • Portelli di sicurezza con sensori integrati impediscono l’accesso alle zone operative durante le fasi di movimentazione automatica.
  • Interfacce standard (SEMI E84, OPC-UA, ecc.) per una facile integrazione con MES, WMS e altri sistemi di supervisione e controllo della fabbrica.

Sistemi di Trasporto Automatizzati

I sistemi di trasporto automatizzati rappresentano l’infrastruttura invisibile ma essenziale che connette in modo continuo e veloce le diverse aree operative all’interno di un impianto industriale. Questi sistemi assicurano lo spostamento tempestivo e tracciabile dei lotti produttivi e dei materiali, ottimizzando la logistica interna sia in ambienti single-facility che multi-building.

Vantaggi principali:

  • Integrazione fluida tra le diverse fasi del processo produttivo.
  • Tecnologie di navigazione e controllo avanzate per la gestione ottimale delle rotte.
  • Riduzione dei tempi di fermo, maggiore efficienza operativa e incremento della sicurezza interna grazie all’eliminazione delle movimentazioni manuali pericolose.
  • Monitoraggio in tempo reale e tracciabilità dei materiali in transito, per una produzione più agile e reattiva alle variazioni di domanda.

Monorail Transport System

Il sistema di trasporto Monorail è progettato per automatizzare il trasferimento dei wafer tra edifici all’interno dello stesso FAB, dove sono in corso processi produttivi differenti. È la soluzione ideale per la movimentazione sicura, veloce e precisa di materiali ad alto valore aggiunto in ambienti critici.

  • Progettato per operare in ambienti esterni con esposizione a vento, neve, eventi sismici e fluttuazioni termiche, grazie a una struttura rigida conforme alle normative NTC 2008.
  • Accessibilità semplificata: sportelli di ispezione e punti di accesso dedicati consentono la manutenzione senza interrompere l’operatività.
  • Ogni navetta è equipaggiata con un motore assiale a bassa tensione e sistemi di rilevamento ostacoli, per garantire un funzionamento fluido e privo di collisioni.
  • Trasporto materiali fino a 15 kg per navetta, con velocità di crociera fino a 40 m/min.
  • Tracciati diritti, curve a 45° e 90°, switch di corsia e layout a doppia corsia.
  • Possibilità di realizzare anelli chiusi e layout altamente personalizzati, in funzione della disposizione del FAB.

Transport System – Installazione Overhead o a Pavimento

Un sistema di trasporto versatile, disponibile in versione sopraelevata o a terra, progettato per integrarsi con robot cartesiani e con sistemi automatici di carico/scarico e distribuzione dei materiali.

  • Motori integrati con drive, controllori e segnalatori per operazioni completamente automatizzate.
  • Capacità di carico: fino a 2.5 kg per disco o 10 kg in configurazione tandem.
  • Velocità fino a 2 m/s, con accelerazioni fino a 4 m/s², modulabili in base al carico e alla tipologia di carrello.
  • Ripetibilità di posizionamento: ±0,5 mm (motori in linea) e ±0,10 mm presso stazioni calibrate.
  • Tracciabilità integrata senza RFID, con possibilità di integrazione opzionale.
  • Conforme alle normative CE e certificato UL per qualità e sicurezza.

Sistemi Automatici di Carico/Scarico per Process Tool

I sistemi automatici di carico/scarico costituiscono un collegamento fondamentale tra i materiali e le apparecchiature di processo. Integrano funzioni di handling, stoccaggio temporaneo e trasferimento preciso, massimizzando la produttività e riducendo l’errore umano.

Applicazioni principali

  • Stepper Tool (Fotolitografia): integrazione fluida dei lotti di produzione nei sistemi stepper con massima precisione.
  • Scrubber Tool Process: movimentazione efficiente dei wafer per processi di pulizia e rimozione contaminanti.
  • Cleaning Tool Process:
    • 8 stazioni di stoccaggio temporaneo per cassette E99.
    • 6 porte di carico per trasferimenti rapidi.
    • 16 stazioni TEFLON/PIC per gestione sicura dei wafer.
    • Mappatura singolo wafer e stazioni per scambio multi-wafer.

Robotizzazione Area Litografica (Metro Litho)

  • Robot antropomorfo a sei assi per movimentazione ad alta precisione.
  • 4 buffer station con apertura automatica dei box.
  • Isola robotica riposizionabile per manutenzione senza interruzione del processo.

Gestione Reticles

  • Sistema con Cobot e guida lineare: movimentazione precisa tra sistema di trasporto overhead e tool di processo.
  • Guida lineare scollegabile per adattamento flessibile a diverse configurazioni.

Sistema Burn-In Boards (BIB)

  • Automazione completa del flusso tra sorter, forni e sistemi di test.
  • Integrazione hardware/software centralizzata.
  • Riduzione dei tempi morti e delle attività manuali.

Robot Mobili Autonomi (AMR)

Gli Autonomous Mobile Robots (AMR) offrono una soluzione intelligente per il trasporto interno in ambienti industriali complessi. Basati su tecnologie avanzate di percezione e navigazione, garantiscono un flusso continuo, sicuro e completamente automatizzato dei materiali.

Tecnologie chiave:

  • Navigazione tramite LiDAR, mappatura ambientale e pianificazione autonoma dei percorsi.
  • Interazione sicura con persone e ostacoli, grazie al rilevamento in tempo reale e algoritmi di evasione.
  • Integrazione diretta con WMS, MES e altri sistemi gestionali.

Gamma MOMA – Versioni disponibili

  • S.A.R.A. E99: ottimizzata per la movimentazione precisa di cassette E99.
  • S.A.R.A. SMIF: pensata per ambienti cleanroom con interfaccia SMIF.
  • S.A.R.A. FOUP: per il trasporto di FOUP in ambienti semiconduttori ad alta automazione.
  • S.A.R.A. CARRIERS: flessibile per il trasporto di vari formati carrier.
  • S.A.R.A. CARRIERS LD90: versione low-deck per ambienti con vincoli di altezza.