Nel settore dei semiconduttori, l'efficienza e la precisione nella movimentazione dei materiali verso le macchine di processo sono elementi chiave per garantire la produttività e minimizzare ridurre i fermi produttivi.
La nostra azienda progetta e realizza sistemi automatici per il carico e lo scarico (Load/Unload) delle macchine di processo completamente customizzati, pensati per integrarsi perfettamente con tool critici come:
Progettiamo sistemi di manipolazione, movimentazione ed interfaccia che si adattano al layout specifico della tua cleanroom ed alla configurazione delle tool di processo, anche in spazi ristretti o con accessi complessi.
Supportiamo il carico/scarico automatico di reticoli litografici, Foup, Smif, Box E99 e Carrier, con sistemi robotizzati standard e/o collaborativi progettati per massimizzare la ripetibilità, ridurre il rischio di errori e migliorare la qualità del processo.
Utilizziamo robot cartesiani, industriali, Scara o collaborativi, selezionati in base al tipo di tool e alle dinamiche operative, con interfacce automatiche per una perfetta sincronizzazione con il ciclo macchina.
I nostri sistemi sono pronti per l’integrazione con ambienti Industry 4.0, comunicano con sistemi MES, tracciabilità RFID/barcode, OHT/AMHS e moduli logistici interni.
Tutti i nostri sistemi sono progettati con materiali e finiture compatibili con ambienti cleanroom ISO 3–7, con attenzione alla sicurezza ESD e alla contaminazione particellare.
Che si tratti di un singolo tool o di un’intera linea, offriamo soluzioni affidabili, modulari e scalabili per automatizzare le fasi critiche di carico e scarico nei tool di processo, migliorando tempi ciclo, tracciabilità e qualità produttiva.
The Automation Add-On for FSI Mercury is an advanced solution designed to fully modernize and automate every stage of lot preparation, loading, and unloading for processing tools such as FSI Mercury cleaners.
This smart system accepts wafer lots in a variety of SEMI standard containers — including E99, SMIF, FOUP, and others — whether they are delivered by human operators or through automated systems like OHTs, AGVs, AMRs, or our proprietary S.A.R.A. MO.MA (Mobile Manipulator) robots. Once received, the system automatically buffers the lots internally, manages the opening and closing of the boxes, and performs precise wafer transfers from standard carriers to teflon carriers — and vice versa. All operations are executed with high precision and reliability, ensuring seamless integration with your production flow and maximum throughput for tools cleaning processes.
Sistema automatico sviluppato per l’interfacciamento con le scrubber tool nel settore dei semiconduttori è composto da una serie di sottosistemi progettati per garantire efficienza operativa, integrazione ergonomica con la macchina di processo e massima compatibilità con ambienti cleanroom.
Il robot non è montato direttamente a terra, ma installato su una struttura in alluminio anodizzato progettata per portare il piano di lavoro alla quota ottimale, permettendo l’accesso sia alle porte di carico della tool che alle postazioni buffer per i box. La struttura tiene conto delle interferenze con il pavimento flottante e garantisce piena accessibilità alla macchina per manutenzione e gestione utenze.
Per garantire la compatibilità con le condizioni ambientali richieste dalle cleanroom, il sistema è dotato di filtri a flusso laminare per la purificazione dell’aria nella zona di lavoro.
Integrazione di unità dedicate per l’apertura sicura e controllata dei box di processo (es. FOUP, SMIF, E99), completamente sincronizzate con il robot e le fasi di carico/scarico.
Strutture modulari per la gestione temporanea dei contenitori, permettono l’organizzazione dei flussi logistici in ingresso e in uscita dal tool in modo ordinato e tracciabile.
Centralina elettrica ed elettronica per il controllo dell’intero sistema, con interfacce HMI intuitive, diagnostica in tempo reale e possibilità di integrazione con il MES o sistemi di fabbrica esistenti.
Che si tratti di un singolo tool o di un’intera linea, offriamo soluzioni affidabili, modulari e scalabili per automatizzare le fasi critiche di carico e scarico nei tool di processo, migliorando tempi ciclo, tracciabilità e qualità produttiva.
Il robot collaborativo a 7 assi, montato in posizione sopraelevata rispetto alla tool, è progettato per raggiungere con precisione tutte le porte di carico della scrubber. Gli altri componenti del sistema sono posizionati linearmente rispetto alla macchina, in modo da garantire:
Accessibilità completa per operazioni di manutenzione
Massima compatibilità con il layout di cleanroom
Flessibilità per future modifiche o espansioni
La progettazione tiene conto di tutti gli elementi architettonici e infrastrutturali esistenti, come il pavimento flottante, le utenze della macchina e i vincoli di spazio.
Il nostro sistema automatico di carico e scarico lotti a servizio degli stepper tool è progettato specificamente per le esigenze dell’industria dei semiconduttori, dove velocità, precisione e contaminazione zero sono requisiti fondamentali.
Grazie a un’integrazione avanzata di tecnologie robotiche e sistemi intelligenti di movimentazione, la soluzione garantisce un'interfaccia completa tra l’ambiente cleanroom, il tool di processo e i sistemi di trasporto automatico OHT.
Il cuore del sistema è un robot antropomorfo a 6 assi, progettato per operare in ambienti ultra-clean (ISO Class 1–3), con cablaggi e superfici ottimizzati per minimizzare la generazione particellare. Garantisce movimenti ad alta precisione per manipolazioni sicure e ripetibili di reticoli, wafer o contenitori.
Il robot è montato su una guida lineare di precisione, che estende il suo range operativo lungo l’asse longitudinale della macchina, permettendo di servire più porte di carico dello stepper o gestire buffer distribuiti senza aumentare l’ingombro.
Un modulo buffer dotato di filtrazione HEPA tramite FFU (Fan Filter Unit) garantisce un’area di stoccaggio temporaneo in condizioni controllate, mantenendo l’integrità dei lotti in attesa di essere processati o scaricati. Ogni slot è monitorato per presenza e identificazione del contenitore (es. FOUP, SMIF, E99).
Il sistema è dotato di una stazione automatica di apertura/chiusura contenitori, compatibile con i principali formati del settore (FOUP, SMIF, E99). Il modulo è completamente sincronizzato con il robot e l’OHT per garantire flussi continui e senza intervento umano.
La soluzione è progettata per connettersi direttamente con i sistemi OHT presenti in fabbrica. Il carico/scarico automatico dei contenitori avviene in modo sicuro e tracciabile, garantendo un’integrazione fluida con l’automazione di fabbrica (AMHS) e con i sistemi MES.
Precisione sub-millimetrica nella manipolazione dei lotti
Riduzione del rischio di contaminazione grazie a design cleanroom-optimized
Automazione completa del flusso materiale, senza intervento umano
Alta scalabilità, con possibilità di adattare il sistema a layout multipli o tool aggiuntivi
Integrazione rapida con infrastrutture esistenti (OHT, MES, Tool I/O)
Progettiamo e installiamo sistemi su misura per automatizzare tool critici come i Wafer Stepper in ambienti altamente regolamentati, assicurando continuità di produzione, tracciabilità dei lotti e la massima protezione del prodotto.
I nostri accessori sono progettati per ottimizzare la gestione dei box di processo all'interno di isole robotizzate, garantendo interoperabilità, flessibilità e automazione avanzata in ambienti ad alta tecnologia come il mondo dei semiconduttori e della microelettronica.
Gestione universale di box di processo
I sistemi sono in grado di ricevere e gestire automaticamente diverse tipologie di box, sia tramite interfacce automatizzate che mediante operazioni manuali da parte dell’operatore:
Questa versatilità nativa consente l'integrazione trasversale in ambienti produttivi misti, dove coesistono standard legacy e moderni.
Ogni accessorio è dotato di meccanismi di apertura automatica dei box, completamente integrati nel sistema e in grado di:
Identificare il tipo di contenitore ricevuto
Gestire automaticamente il ciclo di apertura
Esporre il contenuto (wafer, carrier, tray, substrate) in una posizione standardizzata e accessibile a qualsiasi sistema automatico o robotizzato
Questa funzionalità consente una gestione “hands-off” completa, migliorando la produttività e riducendo il rischio di contaminazioni.
I sistemi sono progettati per operare in sinergia con ogni tipo di automazione industriale, consentendo:
Ricezione da AMR, AGV, bracci robotici o operatori manuali
Output verso sistemi di pick & place, tool di processo, robot antropomorfi o SCARA
Ogni modulo è compatibile con i principali protocolli industriali, facilitando l’integrazione plug-and-play in architetture esistenti.
🔄 Compatibilità multi-formato (E99, SMIF, FOUP)
🤖 Automazione completa del ciclo di ricezione, apertura e consegna
⚙️ Facile integrazione con isole robotiche e tool di processo
👥 Gestione ibrida automatica/manuale
🧼 Progettati per ambienti cleanroom (fino a ISO 5)
Isole robotizzate per semiconduttori e microelettronica
Integrazione con AMR e robot collaborativi
Buffer di carico/scarico tool in ambienti automatizzati
Postazioni di interfaccia tra operatore e linea automatica